|
|
|
|
Å°¿öµå : |
|
|
¼Ò°³±Û |
¹ÝµµÃ¼°øÇÐ |
¿ä¾à |
2007³âµµ Á¦44ȸ º¯¸®»ç Á¦2Â÷½ÃÇè ¹®Á¦Áö <°ú ¸ñ><¹ÝµµÃ¼°øÇÐ><><ÀÀ½Ã¹øÈ£><><¼º ¸í><>
¡¼Á¦ A-1 ¹®¡½ (30Á¡)
3x1016cm-3·Î ±ÕÀÏÇÏ°Ô µµÇÎµÈ nÇü ½Ç¸®ÄÜ ¹ÝµµÃ¼¿¡ ºØ¼Ò(Boron)¸¦ 0.3§ ±íÀÌ·Î ÀÌ¿Â ÁÖÀÔÇÏ¿´´Ù. ÁÖÀÔµÈ ºØ¼ÒÀÇ Peak ³óµµ´Â 1018cm-3 ÀÌ¸ç ´ÙÀ½°ú °°Àº Gaussian ProfileÀ» °®´Â´Ù.
(1) Á¢ÇÕ ±íÀ̸¦ ±¸ÇϽÿÀ. (20Á¡)
(2) ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ ½Ã¿¡ ¹ß»ýÇÒ ¼ö ÀÖ´Â channeling Çö»óÀ» ¼³¸íÇÏ°í, À̸¦ ¾ïÁ¦Çϱâ À§ÇÑ ¹æ¹ý¿¡ °üÇÏ¿© ¼³¸íÇϽÿÀ. (10Á¡)
¡¼Á¦ A-2 ¹®¡½ (20Á¡)
ij¸®¾î ºÐÆ÷(p(x), n(x))¿Í Àü°è(E(x))°¡ ´ÙÀ½°ú °°Àº °æ¿ì¿¡ °¢ Àü·ù ¼ººÐÀÇ ¹æÇâÀ» ¼±ÅÃÇÏ°í(+X ¹æÇ⠶Ǵ -X ¹æÇâ) ±× ÀÌÀ¯¸¦ ¼³¸íÇϽÿÀ.
(1) Ip(drift) (5Á¡)
(2) Ip(diffusion) (5Á¡)
(3) In(drift) (5Á¡)
(4) In(diffusion) (5Á¡)
¡¼Á¦ B-1 ¹®¡½ (30Á¡)
½Ç¸®ÄÜ¿¡¼ Àü°èÀÇ ¼¼±â°¡ °ÇÏÁö ¾ÊÀ» ¶§ ÀüÀÚÀÇ ¼Óµµ´Â ÀüÀÚÀÇ À̵¿µµ¿¡ ºñ·ÊÇÑ´Ù.
(1) À̶§ ÀüÀÚÀÇ À̵¿µµ¸¦ °áÁ¤ÇÏ´Â °¡Àå Áß¿äÇÑ 2°¡Áö scattering mechanismÀ» ¿ÂµµÀÇÁ¸¼º°ú ´õºÒ¾î ¼³¸íÇϽÿÀ. (15Á¡)
(2) À§ÀÇ 2°¡Áö scattering mechanismÀÌ µ¿½Ã¿¡ Á¸ÀçÇÏ°í ÀÖÀ» ¶§, ÀüÀÚÀÇ À̵¿µµ´Â ¾î¶»°Ô Ç¥ÇöµÇ´ÂÁö ¼³¸íÇϽÿÀ. (5Á¡)
(3) ¶ÇÇÑ Àü°èÀÇ ¼¼±â°¡ ¾î´À Á¤µµÀÇ ÀÓ°èÄ¡¸¦ ÃÊ°úÇÏ°Ô µÇ¸é ÀüÀÚÀÇ ¼Óµµ´Â ¾î¶°ÇÑ °æÇ⼺À» º¸À̸ç, ±×·¸°Ô µÇ´Â ÀÌÀ¯¸¦ ¼³¸íÇϽÿÀ. (10Á¡)
¡¼Á¦ B-2 ¹®¡½ (20Á¡)
(1) nÇü ±âÆÇ¿¡ n+ poly-gate¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© PMOS¸¦ ±¸¼ºÇÏ¸é ¹®ÅÎÀü¾ÐÀÌ ÀûÀýÇÏÁö ¾ÊÀº ÀÌÀ¯¸¦ ¼³¸íÇϽÿÀ. (5Á¡)
(2) ÀÌ ¶§, ¹®ÅÎÀü¾ÐÀ» Àû
|
|
|
|
|
À§ Á¤º¸¹× °Ô½Ã¹° ³»¿ëÀÇ Áø½Ç¼º¿¡ ´ëÇÏ¿© º¸ÁõÇÏÁö ¾Æ´ÏÇϸç, ÇØ´ç Á¤º¸ ¹× °Ô½Ã¹° ÀúÀ۱ǰú ±âŸ ¹ýÀû Ã¥ÀÓÀº ÀÚ·á µî·ÏÀÚ¿¡°Ô ÀÖ½À´Ï´Ù. À§ Á¤º¸¹× °Ô½Ã¹° ³»¿ëÀÇ ºÒ¹ýÀû ÀÌ¿ë, ¹«´ÜÀüÀç¹× ¹èÆ÷´Â ±ÝÁöµÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀúÀÛ±ÇħÇØ, ¸í¿¹ÈÑ¼Õ µî ºÐÀï¿ä¼Ò ¹ß°ß½Ã ÇÏ´ÜÀÇ ÀúÀÛ±Ç Ä§ÇØ½Å°í¸¦ ÀÌ¿ëÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù. |
|