ÀÌ¿ë¾È³»|

°í°´¼¾ÅÍ

  Àå¹Ù±¸´Ï| ¸¶ÀÌÆäÀÌÁö| ij½¬ÃæÀü|
¹®¼­/¼­½Ä
¤ý°Ç¼³¼­½Ä
¤ý±³À°¼­½Ä
¤ý±ÝÀ¶¼­½Ä
¤ý¹Î¿øÇàÁ¤¼­½Ä
¤ý¹ý·ü¼­½Ä
¤ý»ç¾÷°èȹ¼­
¤ý»ýÈ°¼­½Ä
¤ý¼¼¹«È¸°è¼­½Ä
¤ý¿µ¹®¼­½Ä
¤ýȸ»ç¼­½Ä
¤ýÁ¦·Ê¼­½Ä
¤ý±âŸ¼­½Ä
¤ý¿¹¹®°ü·Ã¼­½Ä
·¹Æ÷Æ®
¤ý°æ¿µ/°æÁ¦
¤ý°øÇÐ/±â¼ú
¤ýÀι®/¾îÇÐ
¤ý»ýÈ°/ȯ°æ
¤ý»çȸ°úÇÐ
¤ýÀÚ¿¬°úÇÐ
¤ý³ó/¼ö»êÇÐ
¤ýÀÇ/¾àÇÐ
¤ýµ¶ÈÄ°¨
¤ý·¹Æ÷ƮǥÁö
ÃÊÁß°í±âÃâ/¼÷Á¦
¤ýÃʵî±âÃâ/ÇнÀÀÚ·á
¤ýÁßµî±âÃâ/ÇнÀÀÚ·á
¤ý°íµî±âÃâ/ÇнÀÀÚ·á
¤ý¼÷Á¦ÀÚ·á
¤ý±âŸÇнÀÀÚ·á
³í¹®/Àü¹®/¹æÅë´ë
¤ý³í¹®
¤ýÀü¹®ÀÚ·á
¤ý¿ø¼­¹ø¿ª
¤ý¹æ¼ÛÅë½Å´ë
±âŸ°øºÎÀÚ·á
¤ý¹æ¼ÛÅë½Å´ë
¤ý°­ÀÇÀÚ·á/Á·º¸
¤ý¿µ¾î°øºÎ(ÅäÀÍ,ȸȭ,´Ü¾î)
¤ý±¹°¡°í½Ã/ÀÚ°ÝÁõ
¤ýÆíÀÔÇÐ,ÀϺ»¾î,Áß±¹¾î
¹ý·É/ÈÆ·É/Á¶·Ê
¤ý°ü°è¹ý·É¸ðÀ½
ÀϹÝÀÚ°ÝÁõ Àαâ¼øÀ§
2003³â 10¿ù ...
2007[1].4.8...
2002³â Á¦68ȸ...
2004³â 02¿ù 0...
±¹¾î-¼­¿ï½Ã ±³À°...
2002³â Á¦68ȸ...
2003³â_01¿ù_2...
±¹¾î-°æºÏ±³À°Ã» 2...
ÇǺι̿ë»ç ±âÃâ¹®...
±¹¾î-°æ³²±³À°Ã» 2...
°øÁö»çÇ×ÀÌ ¾ø½À´Ï´Ù.
¹ÝµµÃ¼°øÇÐ
ÆÄÀÏ¸í ¹ÝµµÃ¼°øÇÐ.hwp °ü·Ã ºä¾î ´Ù¿î·Îµå
ºÐ·ù ±âŸ°øºÎÀÚ·á > ±¹°¡°í½Ã/ÀÚ°ÝÁõ > ÀϹÝÀÚ°ÝÁõ
°¡°Ý 100¿ø ÆäÀÌÁö 0ÆäÀÌÁö
µî·ÏÀÏ 2010³â 12¿ù 06ÀÏ ÆǸÅÀÚ poi000i0
±¸¸Å 0°Ç Á¶È¸¼ö 351ȸ
ÀÚ·á¹øÈ£ #0100686 ÆÄÀÏÅ©±â 1.8MB
Å°¿öµå :
¼Ò°³±Û ¹ÝµµÃ¼°øÇÐ
¿ä¾à 2007³âµµ Á¦44ȸ º¯¸®»ç Á¦2Â÷½ÃÇè ¹®Á¦Áö
<°ú ¸ñ><¹ÝµµÃ¼°øÇÐ><><ÀÀ½Ã¹øÈ£><><¼º ¸í><>

¡¼Á¦ A-1 ¹®¡½ (30Á¡)

3x1016cm-3·Î ±ÕÀÏÇÏ°Ô µµÇÎµÈ nÇü ½Ç¸®ÄÜ ¹ÝµµÃ¼¿¡ ºØ¼Ò(Boron)¸¦ 0.3§­ ±íÀÌ·Î ÀÌ¿Â ÁÖÀÔÇÏ¿´´Ù. ÁÖÀÔµÈ ºØ¼ÒÀÇ Peak ³óµµ´Â 1018cm-3 ÀÌ¸ç ´ÙÀ½°ú °°Àº Gaussian ProfileÀ» °®´Â´Ù.


(1) Á¢ÇÕ ±íÀ̸¦ ±¸ÇϽÿÀ. (20Á¡)

(2) ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ ½Ã¿¡ ¹ß»ýÇÒ ¼ö ÀÖ´Â channeling Çö»óÀ» ¼³¸íÇÏ°í, À̸¦ ¾ïÁ¦Çϱâ À§ÇÑ ¹æ¹ý¿¡ °üÇÏ¿© ¼³¸íÇϽÿÀ. (10Á¡)

¡¼Á¦ A-2 ¹®¡½ (20Á¡)

ij¸®¾î ºÐÆ÷(p(x), n(x))¿Í Àü°è(E(x))°¡ ´ÙÀ½°ú °°Àº °æ¿ì¿¡ °¢ Àü·ù ¼ººÐÀÇ ¹æÇâÀ» ¼±ÅÃÇÏ°í(+X ¹æÇ⠶Ǵ -X ¹æÇâ) ±× ÀÌÀ¯¸¦ ¼³¸íÇϽÿÀ.



(1) Ip(drift) (5Á¡)

(2) Ip(diffusion) (5Á¡)

(3) In(drift) (5Á¡)

(4) In(diffusion) (5Á¡)

¡¼Á¦ B-1 ¹®¡½ (30Á¡)

½Ç¸®ÄÜ¿¡¼­ Àü°èÀÇ ¼¼±â°¡ °­ÇÏÁö ¾ÊÀ» ¶§ ÀüÀÚÀÇ ¼Óµµ´Â ÀüÀÚÀÇ À̵¿µµ¿¡ ºñ·ÊÇÑ´Ù.

(1) À̶§ ÀüÀÚÀÇ À̵¿µµ¸¦ °áÁ¤ÇÏ´Â °¡Àå Áß¿äÇÑ 2°¡Áö scattering mechanismÀ» ¿ÂµµÀÇÁ¸¼º°ú ´õºÒ¾î ¼³¸íÇϽÿÀ. (15Á¡)

(2) À§ÀÇ 2°¡Áö scattering mechanismÀÌ µ¿½Ã¿¡ Á¸ÀçÇÏ°í ÀÖÀ» ¶§, ÀüÀÚÀÇ À̵¿µµ´Â ¾î¶»°Ô Ç¥ÇöµÇ´ÂÁö ¼³¸íÇϽÿÀ. (5Á¡)

(3) ¶ÇÇÑ Àü°èÀÇ ¼¼±â°¡ ¾î´À Á¤µµÀÇ ÀÓ°èÄ¡¸¦ ÃÊ°úÇÏ°Ô µÇ¸é ÀüÀÚÀÇ ¼Óµµ´Â ¾î¶°ÇÑ °æÇ⼺À» º¸À̸ç, ±×·¸°Ô µÇ´Â ÀÌÀ¯¸¦ ¼³¸íÇϽÿÀ. (10Á¡)

¡¼Á¦ B-2 ¹®¡½ (20Á¡)

(1) nÇü ±âÆÇ¿¡ n+ poly-gate¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© PMOS¸¦ ±¸¼ºÇÏ¸é ¹®ÅÎÀü¾ÐÀÌ ÀûÀýÇÏÁö ¾ÊÀº ÀÌÀ¯¸¦ ¼³¸íÇϽÿÀ. (5Á¡)

(2) ÀÌ ¶§, ¹®ÅÎÀü¾ÐÀ» Àû

 
µî·ÏµÈ »óÇ°ÆòÀÌ ¾ø½À´Ï´Ù.

À§ Á¤º¸¹× °Ô½Ã¹° ³»¿ëÀÇ Áø½Ç¼º¿¡ ´ëÇÏ¿© º¸ÁõÇÏÁö ¾Æ´ÏÇϸç, ÇØ´ç Á¤º¸ ¹× °Ô½Ã¹° ÀúÀ۱ǰú ±âŸ ¹ýÀû Ã¥ÀÓÀº ÀÚ·á µî·ÏÀÚ¿¡°Ô ÀÖ½À´Ï´Ù.
À§ Á¤º¸¹× °Ô½Ã¹° ³»¿ëÀÇ ºÒ¹ýÀû ÀÌ¿ë, ¹«´ÜÀüÀç¹× ¹èÆ÷´Â ±ÝÁöµÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù.
ÀúÀÛ±ÇħÇØ, ¸í¿¹ÈÑ¼Õ µî ºÐÀï¿ä¼Ò ¹ß°ß½Ã ÇÏ´ÜÀÇ ÀúÀÛ±Ç Ä§ÇØ½Å°í¸¦ ÀÌ¿ëÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.
ȸ»ç¼Ò°³ | °³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æħ | ȸ¿ø¾à°ü | °í°´Áö¿ø¼¾ÅÍ | ÀúÀÛ±Ç Ä§ÇؽŰí | Á¦ÈÞ ¹× ±¤°í¹®ÀÇ   
(ÁÖ)¹ÌÅ÷¾Ø³ëº§´ëÇ¥ÀÌ»ç : Á¤ÇöÁØ°³ÀÎÁ¤º¸Ã¥ÀÓÀÚ : Á¤ÇöÁØ
º»»ç : °æ±âµµ ¼º³²½Ã ºÐ´ç±¸ ¼º³²´ë·Î331¹ø±æ 8, 15Ãþ 1502È£ (Á¤ÀÚµ¿, Ų½ºÅ¸¿ö)
»ç¾÷ÀÚµî·Ï¹øÈ£ : 272-81-00259Åë½ÅÆǸž÷½Å°í : Á¦2017-¼º³²ºÐ´ç-1125È£
´ëÇ¥ÀüÈ­ : 
1644-9259Æѽº : 031-724-2601help@me.co.kr