|
|
|
X-Ray Diffractometer, XRD¿¡ ´ëÇؼ |
|
|
|
|
|
|
|
|
Å°¿öµå : |
|
|
¼Ò°³±Û |
X-Ray Diffractometer, XRD¿¡ ´ëÇؼ |
¿ä¾à |
1. X-Ray Diffractometer, XRD¶õ? - XRD¶õ X-Ray DiffractionÀÇ ¾àÀڷμ X-ray¸¦ ¾î¶°ÇÑ »ùÇÿ¡ Åõ»çÇϸé X¼±ÀÌ »ê¶õ ¹× ȸÀýÀ» ÇÏ°Ô µÇ´Âµ¥ ÀÌ·¯ÇÑ È¸Àý ÆÐÅÏÀ» ºÐ¼®ÇÏ´Â °ÍÀ» ¸»ÇÑ´Ù. À̸¦ ÀÀ¿ëÇÏ¸é ¹°ÁúÀÇ ¹Ì¼¼ ±¸Á¶¸¦ º¸´Ù Á¤È®ÇÏ°Ô ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù. - ȸÀý X¼± ½ºÆåÆ®·³À» ÀÌ¿ëÇÏ´Â ½Ã¼ººÐ¼®¹ý. X¼± ȸÀý»çÁøÀÇ Èæȵµ¸¦ ÃøÁ¤Çϵ簡 ¶Ç´Â X¼± ȸÀý°è¸¦ »ç¿ëÇؼ °íü½Ã·áÀÇ È¸Àý X¼±À» ÃëÇؼ ¹°ÁúÀÇ µ¿Á¤(ÔÒïÒ) È¥Çպи»ÀÇ È¥ÇÕÈÀÇ °áÁ¤, °í¿ëüÀÇ ºÐ¼® µîÀ» ÇÏ´Â ¹æ¹ýµîÀÌ ÀÖ´Ù. ÃÖ±Ù¿¡´Â ÀÚ±â(í»ÑÀ) X¼± ȸ Àý°è°¡ ¹ß´ÞÇ߱⠶§¹®¿¡ ´Ü»ö X¼±¿¡ ÀÇÇÑ ºÐ¸»°áÁ¤ÀÇ »ê¶õ°µµ ºÐÆ÷ÃøÁ¤À̳ª ¸é°£°Ý À» ÀÌ¹Ì ¾Ë°í ÀÖ´Â °áÁ¤ÀÇ ¸é¹Ý»ç¸¦ ÀÌ¿ëÇØ ÀÔ»ç X¼±ÀÇ ÆÄÀ彺ÆåÆ®·³ ºÐ¼®À» ÀÚµ¿Àû À¸·Î ÇÒ ¼ö°¡ ÀÖµµ·Ï µÇ¾ú´Ù.
2. XRDÀÇ ¿ø¸® - X-ray diffractionÀº 1912³â¿¡ °áÁ¤¿¡ ÀÇÇؼ X-ray°¡ ȸÀý ÇÑ´Ù´Â Çö»óÀÌ ¹ß°ßµÊÀ¸·Î½á X-rayÀÇ Æĵ¿¼ºÀÌ Áõ¸íµÇ°í ¹°ÁúÀÇ ¹Ì¼¼±¸Á¶¸¦ Á¶»çÇÏ´Â »õ ¹æ¹ýÀÌ Á¦¾ÈµÊ¿¡ µû¶ó XRD°¡ °³¹ßµÇ¾ú´Ù. X-ray´Â Àü±âÀûÀ¸·Î ÇÏÀüµÈ particleÀÌ ÃæºÐÇÑ ¿îµ¿¿¡³ÊÁö¸¦ °¡Áø »óÅ¿¡¼ ±Þ¼ÓÈ÷ °¨¼ÓµÉ ¶§ ¹ß»ýÇϴµ¥, µÎ ±Ý¼Ó Àü±Ø»çÀÌ¿¡ ¼ö¸¸ voltÀÇ ³ôÀº Àü¾ÐÀ» °É¾îÁÖ¸é ¾ç±ØÀº ÀüÀÚ¸¦ ±ÞÈ÷ ²ø¾î ´ç±â°Ô µÇ¹Ç·Î ÀüÀÚ´Â ¸Å¿ì ºü¸¥ ¼Óµµ·Î target°ú Ãæµ¹ÇÏ°Ô µÇ°í ±× Ãæµ¹ ½Ã X-ray´Â ¹ß»ýÇÏ¿© ¸ðµç ¹æÇâÀ¸·Î ¹æÃ⠵ȴÙ. Target°ú Ãæµ¹ÇÏ´Â ÀüÀÚÀÇ ´ëºÎºÐÀÇ ¿îµ¿¿¡³ÊÁö´Â ¿·Î ¹æÃâµÇ°í 1% ÀÌÇϸ¸ÀÌ X-ray·Î µÈ´Ù. Target¿¡¼ ³ª¿À´Â X-ray´Â ¿©·¯ °¡Áö ´Ù¸¥ ÆÄÀåÀ» °¡Áø ¼±µéÀÇ º¹ÇÕüÀ̸ç ÆÄÀå¿¡ µû¸¥ intensity¿Í X-ray tube voltage¿¡ µû¶ó º¯ÈÇÑ´Ù. ºÐ¼®¿¡ ÀÌ¿ëÇÏ´Â X-ray´Â Characteristic spectrumÀ¸·Î X-ray tubeÀÇ Àü¾ÐÀÌ target ±Ý¼ÓÀÇ Æ¯¼ºÄ¡ÀÎ ¾î¶² ÀÓ°è°ª ÀÌ»óÀÌ µÇ¸é ¹ß»ýÇÏ´Â X-ray¸¦ »ç¿ëÇÑ´Ù.
*ÃøÁ¤¿ø¸® (1) ÁÖ»çȸÀüÃà(Scan axis) ¼± |
|
|
|
|
À§ Á¤º¸¹× °Ô½Ã¹° ³»¿ëÀÇ Áø½Ç¼º¿¡ ´ëÇÏ¿© º¸ÁõÇÏÁö ¾Æ´ÏÇϸç, ÇØ´ç Á¤º¸ ¹× °Ô½Ã¹° ÀúÀ۱ǰú ±âŸ ¹ýÀû Ã¥ÀÓÀº ÀÚ·á µî·ÏÀÚ¿¡°Ô ÀÖ½À´Ï´Ù. À§ Á¤º¸¹× °Ô½Ã¹° ³»¿ëÀÇ ºÒ¹ýÀû ÀÌ¿ë, ¹«´ÜÀüÀç¹× ¹èÆ÷´Â ±ÝÁöµÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀúÀÛ±ÇħÇØ, ¸í¿¹ÈÑ¼Õ µî ºÐÀï¿ä¼Ò ¹ß°ß½Ã ÇÏ´ÜÀÇ ÀúÀÛ±Ç Ä§ÇØ½Å°í¸¦ ÀÌ¿ëÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù. |
|